- 专为SiC外延工艺设计，独特的装配结构，电阻率高，避免打火
- 具有良好的保温性能
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性能指标 |
单位 | 幄肯牌号 | |||||
| VU-LRF-PD | VU-LRF-PR | VU-LRF-VB | VU-SRF-V | VU-LRF-PHD | |||
| 体密度 | g/cm³ | 0.16±0.02 | 0.16±0.02 | 0.18±0.02 | 0.18±0.02 | 0.25±0.02 | |
| 含碳量 | wt | >99.9 | >99.9 | >99.9 | >99.9 | >99.9 | |
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处理温度 |
℃ | 2400 | 2400 | 2400 | 2400 | 2400 | |
| 平均热导率 1000℃ | W/（m·K） | 0.23 | 0.18 | 0.17 | 0.25 | 0.44 | |
| 灰分 | ppm | <20 | <20 | <20 | <20 | <200 | |
| 耐压强度 | Mpa | 1.80 | 1.50 | 1.20 | 0.50 | 2.31 | |
| 弯曲强度 | Mpa | 1.33 | 1.26 | 1.00 | 0.50 | 1.80 | |
| 使用环境 | 真空 | ℃ | 2400 | 2400 | 2400 | 2400 | 2400 |
| 惰性气体 | 3200 | 3200 | 3200 | 3200 | 3200 | ||
